真空系統(tǒng)啟動時，要先用機械泵將系統(tǒng)抽至低真空，再接通擴散泵冷凝水.然后逐漸加熱使油沸騰并正常回流后再啟動油擴散泵。關(guān)閉油擴散泵時.需先切斷加熱器電源，待油停止沸騰后再關(guān)冷凝水，再關(guān)閉擴散泵前后兩個活塞，接著將機械泵的抽氣日通大氣后才能停機械泵.通常在機械泵和油擴散泵之前安一冷阱，以免有機物、水汽等雜質(zhì)進入機械泵，影響泵的工作性能。冷阱的冷卻荊可按需要選用干冰、液氮等。

對玻璃真空系統(tǒng)的檢漏，使用高頻火花真空檢漏儀較方便。它是利用低壓強氣體在高頻電場中，發(fā)生感應(yīng)放電時所產(chǎn)生的不同顏色，來大致估計真空度量級，以判斷系統(tǒng)是否漏氣。實際檢漏過程如下，啟動機械泵數(shù)分鐘后，系統(tǒng)的真空度可達1.333~13.33Pa。