爪型干式
真空泵的結構,一般采用多級轉(zhuǎn)子串聯(lián),或
羅茨轉(zhuǎn)子與多級轉(zhuǎn)子串聯(lián)的形式,組成多級爪型干式
真空泵。四級泵腔依次串聯(lián),每級泵腔內(nèi)各有一對共軛嚙合,做同步反向運動的爪型轉(zhuǎn)子。
轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)部留有微小縫隙,轉(zhuǎn)子懸浮于泵腔使得過流部分無任何實質(zhì)性接觸摩擦,也不需要潤滑,這就保證了爪泵可以長期穩(wěn)定保持極限真空、抽速、壓縮比不變,壽命長。