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真空泵的測(cè)量方式

發(fā)布時(shí)間：2014-9-25 標(biāo)簽：真空泵

　　真空泵的測(cè)量方式：

真空泵

　　1.熱偶真空計(jì)
　　利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測(cè)量真空度的真空計(jì)。
　　2.電離真空計(jì)
　　由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來測(cè)量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。
　　3.復(fù)合真空計(jì)
　　由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成，測(cè)量范圍從大氣~10-5Pa。
　　4.冷陰極電離計(jì)
　　陽極筒的兩端有一對(duì)陰極板，在外加磁場(chǎng)作用，陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測(cè)定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。
　　5.電阻真空計(jì)
　　利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理，通過電橋電路來測(cè)量真空度的真空計(jì)。
　　6.麥克勞真空計(jì)
　　也成為壓縮式真空計(jì)，將待測(cè)的氣體用汞壓縮到一極小體積，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種絕對(duì)真空計(jì)。
　　7.電容薄膜真空計(jì)
　　這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲，放在柵網(wǎng)中心，燈絲放在柵網(wǎng)外面，因而減少軟X射線影響，延伸測(cè)量下限，可測(cè)超高真空。

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